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    首頁 > 供應(yīng)產(chǎn)品 > 全自動單晶硅棒切片機伺服瓦型陶瓷硅片砂光學(xué)玻璃硬脆材料多線切割機陶瓷晶體晶片石英石半導(dǎo)體硅片切割機
    全自動單晶硅棒切片機伺服瓦型陶瓷硅片砂光學(xué)玻璃硬脆材料多線切割機陶瓷晶體晶片石英石半導(dǎo)體硅片切割機
    產(chǎn)品: 瀏覽次數(shù):860全自動單晶硅棒切片機伺服瓦型陶瓷硅片砂光學(xué)玻璃硬脆材料多線切割機陶瓷晶體晶片石英石半導(dǎo)體硅片切割機 
    品牌: 明江
    單價: 200000.00元/臺
    最小起訂量: 1 臺
    供貨總量: 14676 臺
    發(fā)貨期限: 自買家付款之日起 天內(nèi)發(fā)貨
    有效期至: 長期有效
    最后更新: 2023-01-12 19:53
     
    詳細信息
    品牌 : 明江 型號 : MJ8732876
    加工速度 : 600 售后服務(wù) : 終身維護
    適用行業(yè) : 冶金 工作臺面尺寸 : 600mm
    工作油糟尺寸 : 500mm 工作臺行程(X*Y) : 1500mm
    Z軸行程 : 500mm 切割厚度 : 50mm
    錐度 : 30度 承重 : 300kg
    主機重量 : 2000kg 主機裝箱尺寸 : 2500mmm
    加工電流 : 8a 小電極消耗比 : 5
    表面粗糙度 : 5 功耗 : 8w
    輸入電壓 : 380v 控制箱重量 : 50kg
    控制箱裝箱尺寸 : 6000mm 電極絲直徑范圍 : 100mm
    工作臺承受重量 : 500kg 機床導(dǎo)軌 : 絲桿
    加工精度 : 0.00001 控制系統(tǒng) : 全自動
    走絲速度 : 500mm 切割斜度/工件厚度 : 50

    各種型號 參數(shù) 多線切割機


    多線切割機是利用帶有金剛石顆粒的金剛石線的高速往復(fù)運動,對加工區(qū)的磁性材料產(chǎn)生切割,進而制造出厚度均一的薄片的技術(shù),再生產(chǎn)效率高、產(chǎn)品質(zhì)量高、加工成本低、控制精度高、綠色環(huán)保、磁泥方便回收的優(yōu)點。

    ?<<產(chǎn)品特點
    ■導(dǎo)輪支架采用輕便型結(jié)構(gòu)方案,使其高速運轉(zhuǎn)慣量小,為今后降低金剛線線徑,提高切割速度等設(shè)備升級或工藝優(yōu)化,預(yù)留了足夠的硬件空間。
    ■羅拉外徑ф170-190mm確保高線速,切割用羅拉中心距較小以減少線弓,提高切割效率。
    ■設(shè)備采用雙排線提高運線穩(wěn)定性,專為金剛線設(shè)計。內(nèi)部采用滑塊絲桿傳動機構(gòu),運行更加穩(wěn)定,增加使用壽命。

    一、設(shè)備用途
    ? ??本設(shè)備主要適用于金剛石線高速切割單晶硅、多晶硅及電子級硅、藍寶石類材料的高速、 、高精度、多片切割加工。
    二、設(shè)備主要技術(shù)參數(shù)
    1)?? 線網(wǎng)長度(mm):700
    2)? ?工件尺寸(mm):1×165×165×700,或2×165×165×350
    3)? ?晶片厚度(μm):100
    4)? ?線速度(m/s):30或35
    5)?? 主軸軸距(mm):375
    6)?? 設(shè)備外形尺寸(長×寬×高)(mm):4000×2500×3050
    7)總重(T):11.5
    三、設(shè)備精度指標
    1)?? 主軸軸向竄動不大于0.005mm;
    2)?? 工作臺升降全行程內(nèi)相對于線網(wǎng)垂直度不大于0.02mm;
    3)?? 工作臺下端在承受100N作用力時,位移不大于0.01mm;
    4)切割液溫度精度在±2℃范圍內(nèi);
    四、設(shè)備安裝條件
    設(shè)備應(yīng)安裝在地面平坦,安裝厚度應(yīng)大于300mm,遠離振動源,無灰塵煙霧污染的場所。
    1)? 工作溫度:15℃-25℃
    2)? 氣源:?0.4-0.6MPa ??
    3)? 相對濕度≤90%
    4)? 冷水水源:?0.25-0.4MPa?? 150-200L/min?? 7-12℃
    5)? 電源:?AC380V,50Hz (三相五線制)
    6)? 地面承重:不小于30kN/㎡
    整機特點????
    1)? 切割后的晶片TTV<10μm;
    2)? 單片晶片厚度 薄可達100μm;
    3)? 小鋼線直徑可達50μm;
    4)? 高鋼線運行速度可達35m/s,加速時間為3s;
    5)? 更長的工件長度使得設(shè)備加工能力更 率更高;
    6)? 更小的主軸軸距為線網(wǎng)提供了足夠的剛性,有效的保證了晶片的切割精度和質(zhì)量;
    7)? 碳纖維輕質(zhì)化導(dǎo)輪大幅降低了主軸軸系的轉(zhuǎn)動慣量,增加了主軸的剛度,讓主軸的速度更高更平穩(wěn);
    8)? 工作臺采用靜壓導(dǎo)軌,進給更平穩(wěn),提高了晶片的切割精度和質(zhì)量;
    9)? 張力調(diào)節(jié)采用直線電機,控制精度和靈敏度更高,有效保證了鋼線上的張力恒定,大幅降低了設(shè)備的斷線率。
    10)針對硅片切割產(chǎn)熱量大,本設(shè)備采用了換熱面積超大的熱交換器,帶有溫度反饋并且溫度可調(diào),將切割液的溫度控制在有效切割溫度范圍內(nèi),為高精度的晶片切割提供了穩(wěn)定的切割環(huán)境;
    11)針對硅片切割后切割液中 含量過高,本設(shè)備采用了帶有離心過濾并且可與主機分離的切割液處理系統(tǒng),有效降低了切割液中 的含量,不僅使得切割液循環(huán)利用次數(shù)更多,更減少了廢液處理量,大幅降低了切割成本;
    12)針對高速運動易產(chǎn)生共振的現(xiàn)象,本設(shè)備將切割部與收放線部隔離,避免了共振現(xiàn)象的產(chǎn)生,為高精度的晶片切割提供了穩(wěn)定的切割環(huán)境;
    13)針對設(shè)備頻繁拆卸導(dǎo)輪的特點,本設(shè)備采用兩端支承式軸承座和特殊的主軸對心傳扭結(jié)構(gòu),使得頻繁拆卸導(dǎo)輪后設(shè)備精度不損失并且拆卸方便。
    14)控制主站采用自主開發(fā)的高性能HRT-NET-CI4工控機,伺服驅(qū)動器采用BECKHOFF公司的AX5000數(shù)字式緊湊型伺服驅(qū)動器,通信協(xié)議采用高性能ethercat通信協(xié)議,控制精度高、響應(yīng)速度快、性能穩(wěn)定可靠。
    15)基于Twincat3?軟件和自主開發(fā)的算法,實現(xiàn)對9軸的高精度同步控制。

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